Наноструктурные элементы резистивно-емкостных  микрофильтров для устройств синхронизации электронной аппаратуры: отчет о НИР (заключ.)

Плиговка, А. Н.; Крупко, А. О.; Попичев, Е. Л.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7732

Title:	Наноструктурные элементы резистивно-емкостных микрофильтров для устройств синхронизации электронной аппаратуры: отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Плиговка, А. Н. Крупко, А. О. Попичев, Е. Л.
Keywords:	отчеты о НИР;анодирование;оксид алюминия;оксид тантала;способ изготовления;конденсатор
Issue Date:	2013
Publisher:	БГУИР
Citation:	Наноструктурные элементы резистивно-емкостных микрофильтров для устройств синхронизации электронной аппаратуры(заключительный) : отчет о НИР / БГУИР; научный руководитель А. Н. Плиговка ; отв. исполнитель А. О. Крупко . – Минск, 2013. – 43 с. - № ГР 20120384
Series/Report no.:	№ Т11М–138;
Abstract:	Выбраны и оптимизированы режимы электросинтеза наноструктурных тонких пленок на основе двухслойной системы Al/Ta с требуемыми морфологией, толщиной и структурой. Определено влияние толщин подслоев и напряжений реанодирования на высоту и толщину оксидных островков и танталовой сетки, разработаны механизмы роста островков для разных толщин подслоя тантала.
Gov't Doc #:	№ ГР 20120384
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7732
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2013

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20120384 (11-7022)_Рук_НИР_Плиговка.pdf Restricted Access		2.59 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy

Show full item record Google Scholar