Skip navigation
DSpace logo
  1. Репозиторий БГУИР
  2. Авторефераты диссертаций и отчеты о НИР
  3. Отчеты о НИР
  4. Отчеты о НИР 2015
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7945
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorТимошков, Ю. В.-
dc.contributor.authorКурмашев, В. И.-
dc.contributor.authorСакова, А. А.-
dc.contributor.authorТимошков, В. Ю.-
dc.date.accessioned2016-07-07T08:46:41Z
dc.date.accessioned2017-07-25T08:08:30Z-
dc.date.available2016-07-07T08:46:41Z
dc.date.available2017-07-25T08:08:30Z-
dc.date.issued2015-
dc.identifier.citationРазработка LIGA-подобной технологии формирования вертикальных металлических контактов к массивам углеродных нанотрубок : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель Ю. В. Тимошков ; отв. исполнитель В. И. Курмашев . – Минск , 2015. – 28 с. - № ГР 20143501ru_RU
dc.identifier.govdoc№ ГР 20143501-
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7945-
dc.description.abstractОписаны особенности конструкции и технологии формирования массива вертикальных металлических контактов методом селективного электрохимического нанокомпозиционного соосаждения металлов в полимерные микроформы большой толщины с вертикальными стенками. Исследованы особенности интегрирования процесса формирования вертикальных контактов в технологию селективного выращивания углеродных нанотрубок. Получены экспериментальные образцы матрицы вертикальных контактов. Проведена оценка качества полученных микроструктур методом сканирующей электронной микроскопии.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.relation.ispartofseriesГБЦ №14-3056;-
dc.subjectотчеты о НИРru_RU
dc.subjectLIGA-подобная технологияru_RU
dc.subjectэлектрохимическое осаждениеru_RU
dc.subjectнанокомпозиционные материалыru_RU
dc.subjectгальваномагнитные исследованияru_RU
dc.subjectфоторезист SU-8ru_RU
dc.titleРазработка LIGA-подобной технологии формирования вертикальных металлических контактов к массивам углеродных нанотрубок : отчет о НИР (заключ.)ru_RU
dc.typeTechnical Reportru_RU
Appears in Collections:Отчеты о НИР 2015

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
№ ГР 20143501 (14-3056)_Рук_НИР_Тимошков.pdf
  Restricted Access		1.4 MBAdobe PDFView/Open Request a copy
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.