Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7959
Title: Плазменный синтез тонкопленочных покрытий в режиме ионно-пучкового фокуса : отчет о НИР (заключ.)
Authors: Достанко, А. П.
Телеш, Е. В.
Тхостов, М. Х.-М.
Титова, В. М.
Keywords: отчеты о НИР;вторичный разряд;ионно-пучковый фокус;алмазоподобные пленки;ускоритель с анодным слоем;диоксид кремния;электрофизические характеристики
Issue Date: 2015
Publisher: БГУИР
Citation: Плазменный синтез тонкопленочных покрытий в режиме ионно-пучкового фокуса : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. П. Достанко ; отв. исполнитель Е. В. Телеш . – Минск , 2015. – 58 с. - № ГР 20143818
Series/Report no.: № 14–3104;
Abstract: В процессе выполнения НИР разработаны и исследованы процессы плазменного синтеза тонкопленочных покрытий их диоксида и нитрида кремния и алмазоподобного углерода.
Gov't Doc #: № ГР 20143818
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7959
Appears in Collections:Отчеты о НИР 2015

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
№ ГР 20143818 (14-3104)_Рук_НИР_Достанко.pdf
  Restricted Access
2.15 MBAdobe PDFView/Open Request a copy
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.