Самоорганизация германийсодержащих нанокластеров в  процессе осаждения пленок поликристаллического кремния,  легированного германием : отчет о НИР (заключ.)

Плякин, Д. В.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8360

Title:	Самоорганизация германийсодержащих нанокластеров в процессе осаждения пленок поликристаллического кремния, легированного германием : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Плякин, Д. В.
Keywords:	отчеты о НИР;нанокластеры;германий;кремний;германосиликатное стекло;сканирующая зондовая микроскопия;пленки поликристаллического кремния;легированного германием;наноструктурированные пленки
Issue Date:	2012
Publisher:	БГУИР
Citation:	Самоорганизация германийсодержащих нанокластеров в процессе осаждения пленок поликристаллического кремния, легированного германием ( заключительный ) : отчеты о НИР / БГУИР; научный руководитель Д. В. Плякин. – Минск, 2012. – 56 с. - № ГР 20103012
Series/Report no.:	договор с БРФФИ № Т10М-118 от 1 мая 2010 г.;
Abstract:	В ходе выполнения работы был проведен анализ методов и условий получения германийсодержащих нанокластеров. Определены ключевые моменты каждого метода. Разработана методика получения германийсодержащих нанокластеров. Проведен эксперимент по осаждению пленок поликристаллического кремния (ПКК), легированного германием. Используя методы сканирующей зондовой микроскопии, проведено исследование полученных образцов.
Gov't Doc #:	№ ГР 20103012
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8360
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2012

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20103012 (10-7005)_Рук_НИР_Плякин.pdf Restricted Access		5.5 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy

Show full item record Google Scholar