https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8364| Title: | Разработка источника плазмы высокой плотности на основе индуктивно-связанного разряда и постановка технологии плазмохимического травления для формирования топологии кристаллов изделий силовой электроники : отчет о НИР (заключ.) |
| Authors: | Котов, Д. А. Ясюнас, А. А. Родионов, Ю. А. Комар, О. М. |
| Keywords: | отчеты о НИР;источник индуктивно-связанной плазмы;антенная система;индукционный разряд;плазмохимическое травление |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Разработка источника плазмы высокой плотности на основе индуктивно-связанного разряда и постановка технологии плазмохимического травления для формирования топологии кристаллов изделий силовой электроники ( заключительный ) : отчеты о НИР / БГУИР; научный руководитель Д. А. Котов; отв. исполнитель А. А. Ясюнас. – Минск, 2012. – 24 с. - № ГР 20110251 |
| Series/Report no.: | ГБЦ-10-1007; |
| Abstract: | В работе выполнены исследования влияния конфигурации антенной системы источника индукционного разряда на параметры генерируемой плазмы. Подготовлена методика проведения эксперимента для снятия разрядных характеристик источника индукционного разряда. Выполнены исследования влияния конфигурации антенной системы источника индукционного разряда на параметры генерируемой плазмы. Рассчитан импеданс разрядной системы в зависимости от геометрии индуктора и плотности плазмы. Сняты зондовые характеристики плазмы индукционного разряда, получены зависимости плотности плазмы и температуры электронного газа от индуктивности антенной системы. |
| Gov't Doc #: | № ГР 20110251 |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8364 |
| Appears in Collections: | Отчеты о НИР 2012 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| № ГР 20110251 (10-1007)_Рук_НИР_Котов.pdf Restricted Access | 781.95 kB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.