Skip navigation
DSpace logo
  1. Репозиторий БГУИР
  2. Авторефераты диссертаций и отчеты о НИР
  3. Отчеты о НИР
  4. Отчеты о НИР 2012
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8372
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЗавадский, С. М.-
dc.contributor.authorГолосов, Д. А.-
dc.contributor.authorРуденко, М. В.-
dc.date.accessioned2016-08-24T11:00:43Z
dc.date.accessioned2017-07-19T12:51:45Z-
dc.date.available2016-08-24T11:00:43Z
dc.date.available2017-07-19T12:51:45Z-
dc.date.issued2012-
dc.identifier.citationРазработка и исследование золь материалов различного состава для формирования керамических пленок, процессов нанесения керамических пленок различного состава методом ВЧ магнетронного распыления. Оптимизация состава мишеней для формирования керамических пленок методом магнетронного распыления, изготовление мишеней ( заключительный ) : отчеты о НИР / БГУИР; научный руководитель С. М. Завадский; отв. исполнитель Д. А. Голосов. – Минск, 2012. – 71 с. - № ГР 20120375ru_RU
dc.identifier.govdoc№ ГР 20120375-
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8372-
dc.description.abstractПредставлены результаты исследований процессов нанесения тонкопленочных слоев цирконата-титаната свинца и танталата стронция-висмута методом ВЧ магнетронного распыления. Установлены зависимости элементного состава нанесенных пленок от параметров процесса распыления и отжига. Исследованы электрофизические свойства конденсаторных структур на основе керамических сегнетоэлектрических тонких пленок. Проведена оптимизация состава мишеней для формирования керамических пленок заданного состава методом магнетронного распыления.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.relation.ispartofseriesГБЦ 11-1070Б;-
dc.subjectотчеты о НИРru_RU
dc.subjectсегнетоэлектрикиru_RU
dc.subjectконденсаторные структурыru_RU
dc.subjectсегнетоэлектрическая энергонезависимая памятьru_RU
dc.subjectмагнетронное распылениеru_RU
dc.subjectзоль-гель процессru_RU
dc.titleРазработка и исследование золь материалов различного состава для формирования керамических пленок, процессов нанесения керамических пленок различного состава методом ВЧ магнетронного распыления. Оптимизация состава мишеней для формирования керамических пленок методом магнетронного распыления, изготовление мишеней : отчет о НИР (заключ.)ru_RU
dc.typeTechnical Reportru_RU
Appears in Collections:Отчеты о НИР 2012

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
№ ГР 20120375 (11-1070Б)_Рук_НИР_Завадский.pdf
  Restricted Access		104.45 MBAdobe PDFView/Open Request a copy
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.