Репозиторий БГУИР: Request a document copy

Request a document copy: Разработка физико-технологических основ формирования интегрированных плёночных систем на основе силицид- и оксидобразующих металлов и нитрида кремния для конку-рентоспособных изделий полупроводниковой электроники : отчет о НИР (заключ.)