Репозиторий БГУИР: Request a document copy

Request a document copy: Моделирование процессов формирования микро- и наноструктур управляемого состава с заданной геометрией расположения на поверхности подложки с учетом процессов распыления мишени, транспорта вещества и конденсации на подложке : отчет о НИР (заключ.)