Репозиторий БГУИР: Request a document copy

Request a document copy: Исследовать влияние технологических процессов изготовления элементов ИС на структурные и химические свойства наноструктурированного кремния и разработать микроэлектромеханические системы (МЭМС), использующие энергию горения и взрыва наноструктурированного кремния : отчет о НИР (заключ.)