Issue Date | Title | Author(s) |
2019 | Высоковольтный источник питания генератора озона | Барахоев, А. Л.; Тубольцев, В. В.; Тихон, О. И. |
2020 | Исследование влияния условий подачи озоно-воздушной смеси на процесс удаления фоторезиста с поверхности кремниевой пластины | Тихон, О. И.; Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Барахоев, А. Л.; Камлач, П. В. |
2021 | Исследование режимов работы высоковольтного источника питания для возбуждения разряда барьерного типа | Барахоев, А. Л.; Тихон, О. И.; Тубольцев, В. В. |
2021 | Исследование угла смачиваемости поверхности пластин из стали, стекла и кремния после обработки низкочастотной плазмой дугового разряда | Моисеев, А. А.; Барахоев, А. Л. |
2018 | Исследование электрофизических характеристик разряда атмосферного давления | Барахоев, А. Л. |
2021 | Исследовательский стенд для микроплазменной поверхностной обработки материалов в условиях атмосферного давления | Бордусов, С. В.; Мадвейко, С. И.; Барахоев, А. Л.; Тихон, О. И.; Моисеев, А. А. |
2020 | Моделирование процесса охлаждения кремниевой пластины потоком газовой смеси | Барахоев, А. Л.; Тубольцев, В. В.; Тихон, О. И. |
2020 | Процесс удаления фоторезистивного слоя с применением поверхностного барьерного разряда | Тубольцев, В. В.; Барахоев, А. Л.; Тихон, О. И. |
2019 | Регулируемый источник питания для генератора озона технологического назначения | Барахоев, А. Л.; Тубольцев, В. В. |
2018 | Экспериментальная установка для возбуждения разряда атмосферного давления барьерного типа | Барахоев, А. Л. |
2017 | Экспериментальная установка для проведения процессов программно-управляемой обработки объектов барьерным разрядом атмосферного давления | Клецкова, Е. Б.; Барахоев, А. Л. |