https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40728| Title: | Моделирование процесса охлаждения кремниевой пластины потоком газовой смеси |
| Authors: | Барахоев, А. Л. Тубольцев, В. В. Тихон, О. И. |
| Keywords: | материалы конференций;охлаждение кремниевой пластины;газовая смесь |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Барахоев, А. Л. Моделирование процесса охлаждения кремниевой пластины потоком газовой смеси / А. Л. Барахоев, В. В.Тубольцев, О. И.Тихон // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18 – 20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 297-298. |
| Abstract: | Для анализа результатов экспериментов по удалению с поверхности кремниевых пластин фоторезистивных маскирующих покрытий в потоке озоно-воздушной смеси, произведено моделирование эффекта охлаждения нагретой пластины в программном пакете ANSYS Fluent. Получены данные моделирования по распределению температуры на поверхности пластины в потоке газа и при отсутствии направленного потока газовой смеси. Настроена математическая модель, позволяющая исследовать процессы теплопереноса и охлаждения. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40728 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Barakhoyev_Modelirovaniye.pdf | 462.4 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.