Browsing by Author Вилья, Н.
Showing results 1 to 6 of 6
Issue Date | Title | Author(s) |
2018 | Влияние отжига на структуру и диэлектрические свойства пленок оксида гафния | Голосов, Д. А.; Мельников, С. Н.; Завадский, С. М.; Вилья, Н.; Грехов, М. М.; Колос, В. В. |
2019 | Диэлектрические свойства пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления | Вилья, Н.; Голосов, Д. А.; Нгуен, Т. Д. |
2017 | Формирование пленок оксида гафния методом реактивного магнетронного распыления | Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Вилья, Н. |
2020 | Формирование пленок оксида тантала на подложках диаметром 200 миллиметров | Вилья, Н.; Голосов, Д. А.; Мельников, С. Н.; Нгуен, Т. Д.; Голосов, А. Д. |
2019 | Формирование пленок оксида титана методом реактивного магнетронного распыления | Вилья, Н.; Голосов, Д. А.; Нгуен, Т. Д. |
2017 | Формирование пленок оксида циркония методом реактивного магнетронного распыления | Вилья, Н.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Окоджи, Д. Э. |