https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38244| Title: | Диэлектрические свойства пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления |
| Authors: | Вилья, Н. Голосов, Д. А. Нгуен, Т. Д. |
| Keywords: | публикации ученых;оксид тантала;реактивное магнетронное распыление;МОП структура;диэлектрические свойства |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины |
| Citation: | Вилья, Н. Диэлектрические свойства пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления / Вилья Н., Голосов Д. А., Нгуен Т. Д. // Проблемы физики, математики и техники. – 2019. – № 2 (39). – C. 15 – 19. |
| Abstract: | Представлены результаты исследований диэлектрических характеристик пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления Ta мишени в Ar/O2 смеси газов. Установлены зависимости диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь, ширины запрещенной зоны, плотности токов утечки от содержания кислорода в Ar/O2 смеси газов в процессе нанесения пленок. Получены пленки с диэлектрической проницаемостью 12–30 единиц, тангенсом угла диэлектрических потерь 0.01, плотностью токов утечки менее 0.1 А/см2 при напряженности электрического поля 2.0×106. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38244 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Vilia_Dielektricheskiye.pdf | 380.75 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.