Issue Date | Title | Author(s) |
2018 | Влияние быстрой термической обработки подзатворного диэлектрика на параметры мощных полевых МОSFЕТ транзисторов | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А. |
2008 | Влияние процесса оплавления легкоплавких стекол на их зарядовые свойства и перераспределение примеси в ионно-легированных слоях | Вечер, Д. В.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
2020 | Влияние быстрой термической обработки подзатворного диэлектрика на параметры микросхем временных устройств | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А. |
2020 | Влияние временных режимов термообработки на микроструктуру системы Pt-Si | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Комаров, Ф. Ф.; Горушко, В. А. |
2009 | Влияние лазерного геттерирования на параметры биполярных интегральных микросхем | Пилипенко, В. А.; Вечер, Д. В.; Горушко, В. А.; Понарядов, В. В.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
2019 | Влияние режимов формирования силицида платины методом быстрой термообработки на параметры диодов Шоттки | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Филипеня, В. А. |
2010 | Особенности вертикального масштабирования при создании биполярных микросхем | Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Шведов, В. С.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
2018 | Режимы быстрой термообработки системы Рt-Si для формирования силицида платины | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А. |
2007 | Установка лазерного геттерирования кремниевых пластин | Вечер, Д. В.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
2020 | Электронномикроскопические исследования системы Pt-Si при ее быстрой термообработке | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Комаров, Ф. Ф.; Горушко, В. А. |