Issue Date | Title | Author(s) |
2021 | Влияние отжига на структурно-фазовые и электрофизические свойства пленок оксида ванадия | Нгуен, Т. Д.; Занько, А. И.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Колос, В. В. |
2020 | Исследование газодинамического потока в реакторе осаждения диэлектрических слоев на основе кремния | Занько, А. И.; Леонович, Н. В. |
2021 | Плазмохимическое осаждение оксида кремния при атмосферном давлении | Занько, А. И.; Леонович, Н. В. |
2018 | Протяженный источник ионов для обработки в вакууме | Занько, А. И. |
2018 | Протяженный источник ионов с анодным слоем для обработки поверхности оптических элементов | Занько, А. И. |
2021 | Процесс формирования алмазоподобных углеродных покрытий с применением плазмы высокой плотности | Леонович, Н. В.; Занько, А. И.; Логунов, К. Т. |
2021 | Структурно-фазовые характеристики пленок оксида ванадия | Нгуен, Т. Д.; Занько, А. И.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Колос, В. В.; То, Т. К. |
2021 | Формирование и исследование характеристик терморезистивных структур на основе пленок оксида ванадия | Нгуен, Т. Д.; Занько, А. И.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Колос, В. В.; Толочко, Н. К. |
2020 | Электрофизические свойства пленок оксида ванадия, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления | Нгуен, Т. Д.; Занько, А. И.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Колос, В. В. |