Issue Date | Title | Author(s) |
2008 | Влияние процесса оплавления легкоплавких стекол на их зарядовые свойства и перераспределение примеси в ионно-легированных слоях | Вечер, Д. В.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
2009 | Влияние лазерного геттерирования на параметры биполярных интегральных микросхем | Пилипенко, В. А.; Вечер, Д. В.; Горушко, В. А.; Понарядов, В. В.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
2009 | Исследование профилей на границе раздела Al–Al2O3 при глубоком локальном анодировании Al | Сокол, В. А.; Шиманович, Д. Л.; Сякерский, В. С. |
2010 | Особенности вертикального масштабирования при создании биполярных микросхем | Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Шведов, В. С.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
2013 | Способ изготовления многоуровневой системы микроэлектронных межсоединений на основе алюминия и его анодных оксидов | Сокол, В. А.; Шиманович, Д. Л.; Ярошевич, И. В.; Сякерский, В. С. |
2013 | Способ получения паяемого покрытия на тонкой пленке алюминия | Сокол, В. А.; Меледина, М. В.; Сякерский, В. С. |
2007 | Установка лазерного геттерирования кремниевых пластин | Вечер, Д. В.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |