https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11131| Title: | Трибологические характеристики покрытий TiN, полученные методом реак-тивного магнетронного распыления при пониженном давлении |
| Other Titles: | Tribological behavior of TiN films depositid by reactive magnetron sputtering under low pressure |
| Authors: | Ермоленко, М. В. Завадский, С. М. Голосов, Д. А. Мельников, С. Н. Замбург, Е. Г. |
| Keywords: | публикации ученых;магнетронное нанесение;нитрид титана;твердость;magnetron sputtering;titanium nitride;hardness;friction coefficient |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | ИММС НАН Беларуси |
| Citation: | Ермоленко, М. В. Трибологические характеристики покрытий TiN, полученные методом реак-тивного магнетронного распыления при пониженном давлении / М. В. Ермоленко и другие // Трение и износ. - 2016. - Том 37, № 3. - С. 289–292. |
| Abstract: | Исследовалось влияние режимов нанесения на трибологические характеристики тонкоплёночных слоёв нитрида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления. Были получены зависимости твёрдости, ширины дорожки трения, коэффициента трения и объёмного износа слоёв TiN от потока реактивного газа N2. Установлены условия нанесения, при которых формируются покрытия с наилучшими триботехническими параметрами. |
| Alternative abstract: | Influence of coating modes on the tribological characteristics of thin-film layers of titanium nitride deposited by reactive magnetron sputtering under low pressure is studied. Dependences of hardness, friction track width, coefficient of friction and volume wear of TiN layers on reactive gas stream N2 are obtained. The sputtering conditions required for formation of a coating with optimal tribotechnical properties are established. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11131 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 110911.docx | 14 kB | Microsoft Word XML | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.