https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11142| Title: | Автоматический контроль микродефектов на полупроводниковых пластинах |
| Other Titles: | Automatic Micro Defect Inspection on Semiconductor Wafers |
| Authors: | Плебанович, В. И. |
| Keywords: | публикации ученых;автоматический контроль;микродефекты;полупроводниковые пластины;automatic inspection;microdefects;semiconductor wafers |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | РИЦ «Техносфера» |
| Citation: | Плебанович, В. И. Автоматический контроль микродефектов на полупроводниковых пластинах / В. И. Плебанович // Электроника НТБ. – 2015. – №5. – С. 132 – 140. |
| Abstract: | С переходом на субмикронные технологии количество дефектов растёт экспоненциально. Рассмотреть дефекты такого размера под микроскопом в видимом свете невозможно. Установка ЭМ-6429 для автоматического контроля микродефектов на пластинах с топологией, позволит решить многие проблемы, возникающие при изготовлении микросхем субмикронных размеров. |
| Alternative abstract: | Transfer to submicron technologies results in exponential defect growth. Visual inspection of defects of such a small size in visible light under the microscope is impossible. EM-6429 Automatic Patterned Wafer Micro Defect Inspection Tool is a solution to many problems resulting from IC fabrication of submicron size. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11142 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.