https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11196| Title: | Химическое осаждение оксидов олова и цинка в высокоупорядоченные нанопористые матрицы |
| Authors: | Захлебаева, А. И. Горох, Г. Г. Пянко, А. В. Жилинский, В. В. |
| Keywords: | публикации ученых;пористый анодный оксид алюминия;электрохимическое анодирование;металлооксидные пленки;матричные микросистемы |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | МИЭТ |
| Citation: | Захлебаева, А. И. Химическое осаждение оксидов олова и цинка в высокоупорядоченные нанопористые матрицы / А. И. Захлебаева и другие // Микроэлектроника и информатика-2016: Тезисы докладов 23-й Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов, 20–22 апреля 2016 г. – Москва : МИЭТ, 2016. - С. 37. |
| Abstract: | Матрицу анодного оксида алюминия формировали методом двухстадийного электрохимического анодирования. Проводили послойное химическое осаждение Sn(OH)2 и ZnOH в матрицу анодного оксида алюминия. Сформированные структуры отжигали при 750°С. Сформированные пленки показали хорошие хемочувствительные свойства. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11196 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.