Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11693
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorДубина, О. Н.-
dc.date.accessioned2017-02-07T14:05:49Z-
dc.date.accessioned2017-07-17T11:14:26Z-
dc.date.available2017-02-07T14:05:49Z-
dc.date.available2017-07-17T11:14:26Z-
dc.date.issued2015-
dc.identifier.citationДубина, О. Н. Анализ конструкций современного технологического оборудования для обработки полупроводниковых пластин в зоне послесвечения СВЧ-разряда / О. Н. Дубина // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : сборник материалов 51-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 13–17 мая 2015 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2015. – С. 24–25.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11693-
dc.description.abstractОбщепринятая концепция индивидуальной плазменной обработки пластин и непрерывное увеличение их диаметра обусловливают необходимость разработки неких универсальных подходов построения плазменных реакционных камер и проведения соответствующих технологических плазменных процессов.Травление тонких пленок поликремния, Si3N4, SiO2, MoSi, Mo, TiSi, Al, полиамида и удаление фоторезиста осуществляется в установках индивидуальной обработки трех основных типов, различающихся конструктивными особенностями реакторных блоков и компоновкой вакуумных систем в зависимости от конкретного технологического процесса.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectматериалы конференцийru_RU
dc.subjectтехнологическое оборудованиеru_RU
dc.subjectобработка полупроводниковых пластинru_RU
dc.subjectзона послесвечения СВЧ-разрядаru_RU
dc.titleАнализ конструкций современного технологического оборудования для обработки полупроводниковых пластин в зоне послесвечения СВЧ-разрядаru_RU
dc.typeArticleru_RU
Appears in Collections:Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 51-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2015)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Анализ конструкций.PDF1.05 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.