Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12454
Title: Применение сквозного моделирования при проектировании систем магнетронного распыления
Authors: Мельников, С. Н.
Голосов, Д. А.
Завадский, С. М.
Окоджи, Д. Э.
Рубан, Г. М.
Котинго, Д. Д.
Keywords: публикации ученых;магнетронное распыление;моделирование;электромагнитное поле;мишень;подложка;magnetron sputtering;simulation;electromagnetic field;target;substrate
Issue Date: 2016
Publisher: ГГУ им.Ф.Скорины
Citation: Мельников, С. Н. Применение сквозного моделирования при проектировании систем магнетронного распыления / С. Н. Мельников и другие // Материалы IV международной научной конференции «Проблемы взаимодействия излучения с веществом», 9–11 ноября 2016 г.: в 2 частях. Ч. 2. – Гомель : ГГУ им.Ф.Скорины, 2016. – С. 245 - 250.
Abstract: Разработаны методы компьютерного моделирования для проектирования систем и процессов магнетронного распыления, которые позволяют проводить сквозное моделирование систем магнетронного нанесения от этапа создания магнитной системы магнетрона до формирования покрытия на поверхности подложки.
Alternative abstract: Methods of computer modeling are developed for design of systems and processes of magnetron dispersion which allow to carry out through modeling of systems of magnetron drawing from a stage of creation of magnetic system of the magnetron to formation of a covering on a substrate surface.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12454
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Melnikov_Primeneniye.PDF723.03 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.