| Title: | Метод автоматизированного контроля топологии планарных структур |
| Authors: | Титко, Д. С. |
| Keywords: | материалы конференций;динамическое автосовмещение;многоканальный компаратор |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Титко, Д. С. Метод автоматизированного контроля топологии планарных структур / Д. С. Титко // Компьютерные системы и сети : материалы 53-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 2–6 мая 2017 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2017. – С. 152–153. |
| Abstract: | Рассматривается метод автоматизированного контроля топологии планарных структур основанный на системе
динамического автосовмещения реального и эталонного изображений, который позволяет получить гарантированную
устойчивость автосовмещения с запасом удовлетворяющим потребностям установок контроля топологий ЭМ-6029Б и
ЭМ-6329. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/13152 |
| Appears in Collections: | Компьютерные системы и сети : материалы 53-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2017)
|
