https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1439| Title: | Алгоритм выбора метода автоматического контроля топологии планарных структур |
| Authors: | Титко, Д. С. Титко, Е. А. Дайняк, И. В. |
| Keywords: | материалы конференций;планарная структура;дефект;топология |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Титко, Д. С. Алгоритм выбора метода автоматического контроля топологии планарных структур. // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР (Минск, 18-19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2. - Минск, 2014. - С. 170-171 |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1439 |
| ISBN: | 978-985-543-038-5 |
| Appears in Collections: | Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики» |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| алгоритм.pdf | 343.68 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.