https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2330| Title: | Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 3. |
| Authors: | Емельянов, В. А. Ануфриев, Л. П. Достанко, А. П. Бордусов, С. В. Гурский, Л. И. Ланин, В. Л. Турцевич, А. С. Соловьев, Я. А. Портнов, Л. Я. Коробко, А. О. Король, И. П. Борисик, А. В. Осипов, А. А. |
| Keywords: | лабораторные практикумы;изделия интегральной электроники;технологическое оборудование |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | Интегралполиграф |
| Citation: | Емельянов, В. А. Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 3. / В. А. Емельянов и др.; под ред. А. П. Достанко. – Минск : Интегралполиграф, 2007. –76 с. : ил. |
| Abstract: | Лабораторный практикум включает в себя исследования процессов формирования конфигурации элементов интегральных схем на поверхности полупроводниковых пластин проекционной литографией на установке ЭМ 584А, процессов ионно-лучевого, термовакуумного, катодного, магнетронного нанесения тонких пленок, а также герметизации интегральных схем в пластмассовые корпуса . Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием и приборами контроля параметров кремниевых структур. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2330 |
| Appears in Collections: | Кафедра электронной техники и технологии |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Emelyanov_Ch3.pdf | 7.75 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.