| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Мухуров, Н. И. | - |
| dc.contributor.author | Ефремов, Г. И. | - |
| dc.contributor.author | Мусский, А. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-04-23T07:27:49Z | - |
| dc.date.available | 2018-04-23T07:27:49Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.citation | Мухуров, Н. И. Электростатические коммутационные микроустройства на анодном оксиде алюминия / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, А. С. Мусский // Доклады БГУИР. - 2007. - № 1 (17). - С. 79 - 87. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31119 | - |
| dc.description.abstract | Анализируются особенности построения перспективных электростатических
коммутационных микроустройств. Приводятся обобщенные формулы для определения
контактных усилий. Широкое применение таких микроустройств в различных схемах
управления, диагностики и контроля обусловлено мизерным потреблением электроэнергии
и минимальными массогабаритными показателями. Использование алюмооксидной
технологии позволяет формировать элементы с точностью в десятки нм. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | электростатические коммутационные микроустройства | ru_RU |
| dc.subject | моделирование | ru_RU |
| dc.subject | перспективные конструктивные варианты | ru_RU |
| dc.title | Электростатические коммутационные микроустройства на анодном оксиде алюминия | ru_RU |
| dc.title.alternative | Electrostatic anodic alumina switching microdevices | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| local.description.annotation | Features of construction of perspective electrostatic switching microdevices are analyzed. The
generalized formulas for definition of contact forces are resulted. Wide application of such
microdevices in different control circuits, diagnostics and monitoring is stipulated by a extra-low
power consumption and minimum mass-overall indexes. Use of anodic alumina technology allows
forming elements accurate within tens of nanometers. | - |
| Appears in Collections: | №1 (17)
|
