https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31119| Title: | Электростатические коммутационные микроустройства на анодном оксиде алюминия |
| Other Titles: | Electrostatic anodic alumina switching microdevices |
| Authors: | Мухуров, Н. И. Ефремов, Г. И. Мусский, А. С. |
| Keywords: | доклады БГУИР;электростатические коммутационные микроустройства;моделирование;перспективные конструктивные варианты |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Мухуров, Н. И. Электростатические коммутационные микроустройства на анодном оксиде алюминия / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, А. С. Мусский // Доклады БГУИР. - 2007. - № 1 (17). - С. 79 - 87. |
| Abstract: | Анализируются особенности построения перспективных электростатических коммутационных микроустройств. Приводятся обобщенные формулы для определения контактных усилий. Широкое применение таких микроустройств в различных схемах управления, диагностики и контроля обусловлено мизерным потреблением электроэнергии и минимальными массогабаритными показателями. Использование алюмооксидной технологии позволяет формировать элементы с точностью в десятки нм. |
| Alternative abstract: | Features of construction of perspective electrostatic switching microdevices are analyzed. The generalized formulas for definition of contact forces are resulted. Wide application of such microdevices in different control circuits, diagnostics and monitoring is stipulated by a extra-low power consumption and minimum mass-overall indexes. Use of anodic alumina technology allows forming elements accurate within tens of nanometers. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31119 |
| Appears in Collections: | №1 (17) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Mukhurov_Electrostatic.pdf | 610.2 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.