Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32906
Title: Вакуумно-плазменные системы двухчастотных разрядов для технологического применения
Authors: Хамицевич, Е. Ю.
Лушакова, М. С.
Keywords: материалы конференций;двухчастотная емкостно-связанная плазма;вакуумно-плазменные системы
Issue Date: 2018
Publisher: БГУИР
Citation: Хамицевич, Е. Ю. Вакуумно-плазменные системы двухчастотных разрядов для технологического применения / Е. Ю. Хамицевич, М. С. Лушакова // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 194 - 195.
Abstract: Двухчастотная емкостно-связанная плазма интенсивно изучается как экспериментально, так и теоретически в целях применения технологии для анизотропного и селективного травления материалов с высокими скоростями.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32906
Appears in Collections:Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Khamitsevich_Vakuumno.pdf443.72 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.