https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32948| Title: | Особенности процессов плазмохимической обработки материалов в проточных туннельных реакторах при низком вакууме |
| Authors: | Прокофьев, С. С. |
| Keywords: | материалы конференций;плазмохимическая обработка материалов;проточные туннельные реакторы;низкий вакуум |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Прокофьев, С. С. Особенности процессов плазмохимической обработки материалов в проточных туннельных реакторах при низком вакууме / С. С. Прокофьев // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 170 - 171. |
| Abstract: | Обработка поверхности твердотельных структур с помощью низкотемпературной неравновесной плазмы представляет собой сложный комплекс физикохимических процессов образования активных частиц в результате внешнего энергетического воздействия на рабочую газообразную среду и взаимодействия этих частиц между собой, с обрабатываемой поверхностью и стенками, ограничивающими разрядное пространство. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32948 |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Prokofyev_Osobennosti.pdf | 412.12 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.