| Title: | Синтез пленок SiOF реактивным ионно-лучевым распылением мишени из кремния |
| Authors: | Юшкевич, С. А. |
| Keywords: | материалы конференций;SiOF;синтез пленок;реактивное ионно-лучевое распыление;кремний |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Юшкевич, С. А. Синтез пленок SiOF реактивным ионно-лучевым распылением мишени из кремния / С. А. Юшкевич // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 205 - 206. |
| Abstract: | Исследованы процессы взаимодействия ионных пучков аргона и фреона-218 с мишенью из кремния. Плёнки
формировались на подложках из кремния. Температура подложки не превышала 333 К. Установлено, что скорость нанесения
увеличивается с ростом содержания фреона в рабочем газе, можно объяснить встраиванием атомов фтора в структуру
диоксида кремния и снижением плотности покрытия. Исследовано влияние величины положительного потенциала на
мишени на скорость нанесения пленок SiOF.Установлено, что наличие положительного потенциала на мишени
неоднозначно влияло на скорость нанесения. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32962 |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
