| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Ретюхин, Г. | - |
| dc.contributor.author | Школык, С. Б. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-09-28T07:27:34Z | - |
| dc.date.available | 2018-09-28T07:27:34Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Ланин, В. Л. Многофункциональная установка лазерной обработки материалов и изделий микроэлектроники / В. Л. Ланин, Г. Ретюхин, С. Б. Школык // Производство электроники. – 2018. – № 1. – С. 98 – 102. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33048 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрены конструкционные особенности, технологические возможности и технические характеристики многофункциональной лазерной установки ЭМ-240, предназначенной для микрообработки материалов и изделий микроэлектроники. Проведен сравнительный анализ параметров лазерной микрообработки. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ООО «Медиа КиТ» Санкт-Петербург | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | лазерная обработка | ru_RU |
| dc.subject | материалы | ru_RU |
| dc.subject | изделия микроэлектроники | ru_RU |
| dc.title | Многофункциональная установка лазерной обработки материалов и изделий микроэлектроники | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
