https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33048| Title: | Многофункциональная установка лазерной обработки материалов и изделий микроэлектроники |
| Authors: | Ланин, В. Л. Ретюхин, Г. Школык, С. Б. |
| Keywords: | публикации ученых;лазерная обработка;материалы;изделия микроэлектроники |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | ООО «Медиа КиТ» Санкт-Петербург |
| Citation: | Ланин, В. Л. Многофункциональная установка лазерной обработки материалов и изделий микроэлектроники / В. Л. Ланин, Г. Ретюхин, С. Б. Школык // Производство электроники. – 2018. – № 1. – С. 98 – 102. |
| Abstract: | Рассмотрены конструкционные особенности, технологические возможности и технические характеристики многофункциональной лазерной установки ЭМ-240, предназначенной для микрообработки материалов и изделий микроэлектроники. Проведен сравнительный анализ параметров лазерной микрообработки. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33048 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lanin_Mnogofunktsionalnaya.pdf | 405.12 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.