https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34178
Title: | Ионно-плазменное формирование конденсаторных структур на основе танталата стронция-висмута для элементов сегнетоэлектрической энергонезависимой памяти |
Authors: | Окоджи, Д. Э. |
Keywords: | авторефераты диссертаций;сегнетоэлектрики;танталат стронция-висмута;ВЧ магнетронное распыление |
Issue Date: | 2018 |
Publisher: | БГУИР |
Citation: | Окоджи, Д. Э. Ионно-плазменное формирование конденсаторных структур на основе танталата стронция-висмута для элементов сегнетоэлектрической энергонезависимой памяти : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Д. Э. Окоджи ; науч. рук. Д. А. Голосов. - Минск : БГУИР, 2018. - 24 с. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34178 |
Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
avtoreferat_Okodzhi.pdf | 1.75 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.