https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34205| Title: | Системы перемещений в прецизионном оборудовании микроэлектроники |
| Authors: | Карпович, С. Е. Зубов, Г. А. Войтов, А. Ю. |
| Keywords: | материалы конференций;изделия электронной техники;технологическое оборудование производства |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Карпович, С. Е. Системы перемещений в прецизионном оборудовании микроэлектроники / С. Е. Карпович, Г. А. Зубов, А. Ю. Войтов // Информационные технологии и системы 2018 (ИТС 2018) = Information Technologies and Systems 2018 (ITS 2018) : материалы международной научной конференции, Минск, 25 октября 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол. : Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2018. – С. 42 - 43. |
| Abstract: | В работе проанализированы новые тенденции построения современных систем перемещений для прецизионного оборудования нано- и микроэлектроники, предназначенных для создания систем позиционирования, выполнения технологических и измерительных операций, а также представленные в работе под- ходы могут быть использованы при создании современных обрабатывающих центров и автоматических линий машиностроительного профиля. Они позволяют, в настоящее время, разрешить большинство из проблем, присущих традиционной и широко используемой компоновке на сложившейся элементной базе. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34205 |
| Appears in Collections: | ИТС 2018 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Karpovich_Sistemy.PDF | 245.75 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.