https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34334| Title: | Оперативный анализ загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями в производстве интегральных микросхем |
| Authors: | Солодуха, В. А. Шведов, С. В. Чигирь, Г. Г. Петлицкий, А. Н. Пилипенко, В. А. Ковальчук, Н. С. Петлицкая, Т. В. Филипеня, В. А. Солодуха, В. А. |
| Keywords: | публикации ученых;материалы конференций;кремниевая пластина;рекомбинационно-активные примеси;токи утечки |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | Издательский центр «Политехпериодика» |
| Citation: | Оперативный анализ загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями в производстве интегральных микросхем / В. А. Солодуха [и др.] // Современные информационные и электронные технологии: сборник трудов 19-ой Международной научно-практической конференции (СИЭТ-2018), Одесса, 28 мая - 01 июня 2018 г. - Одесса, 2018. - С. 83 - 84. |
| Abstract: | Предложен доступный, оперативный анализ наличия загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями по измерению величины токов утечки обратносмещенных р-п переходов. Установлены критерии забракования по допустимым уровням загрязнения. Для проведения анализа не требуется дорогостоящее специализированное оборудование (масспектрометры). Анализ эффективен при проведении оперативной аттестации оборудования для проведения высокотемпературных операций. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34334 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Solodukha_Operativnyy.pdf | 269.55 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.