https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34357
Title: | Современные методы и оборудование для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники в центре коллективного пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ" |
Authors: | Солодуха, В. А. Петлицкий, А. Н. Петлицкая, Т. В. Пилипенко, В. А. Ковальчук, Н. С. |
Keywords: | публикации ученых;анализ отказов ИМС;аттестация технологических процессов;анализ конструкции ИМС;контроль химического состава |
Issue Date: | 2018 |
Publisher: | Видавництво ТОВ "Рik-У" |
Citation: | Современные методы и оборудование для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники в центре коллективного пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ" / В. А. Солодуха [и др.] // Сборник трудов VIII Украинской конференция по физике полупро-водников, Ужгород, 2 - 4 октября 201г. / Черновицкий национальный университет имени Юрия Федьковича. - Ужгород, 2018. - С. 402 - 403. |
Abstract: | Приведены основные виды дея-тельности Государственного центра пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ" . |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34357 |
Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Pilipenko_Sovremennyye.PDF | 463.2 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.