https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36851| Title: | Лазерное формирование отверстий в кремниевых подложках 3D электронных модулей |
| Authors: | Ланин, В. Л. Волк, С. Первенецкий, А. П. |
| Keywords: | публикации ученых;лазер;отверстие;кремниевая подложка;3D электронный модуль |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | ООО «Медиа КиТ» |
| Citation: | Ланин, В. Л. Лазерное формирование отверстий в кремниевых подложках 3D электронных модулей / Владимир Ланин, Сергей Волк, Артем Первенецкий // Технологии в электронной промышленности. – 2019. – № 2. – С. 65-67. |
| Abstract: | Рассматривается технология формирования сквозных отверстий в кремниевых подложках под воздействием лазерного излучения. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36851 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lanin_Lazernoye.pdf | 295.38 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.