https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37318| Title: | Нанесение пленок танталата-ниобата стронция-висмута в off-axis конфигурации |
| Authors: | Голосов, А. Д. Аюпов, В. А. Шамшуров, П. Ю. |
| Keywords: | материалы конференций;нанесение пленок;пленка;off-axis конфигурация |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Голосов, А. Д. Нанесение пленок танталата-ниобата стронция-висмута в off-axis конфигурации / Голосов А. Д., Аюпов В. А., Шамшуров П. Ю. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 275-276. |
| Abstract: | Метод магнетронного нанесения тонких пленок на подложки в вакууме давно и прочно заняло свое место в получении функциональных покрытий, как в микроэлектронике, так и в других отраслях промышленности. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37318 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Golosov_Naneseniye.pdf | 593.56 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.