https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37972| Title: | Влияние площади поверхности кремниевых пластин на величину СВЧ мощности в разрядной камере СВЧ плазмотрона резонаторного типа |
| Authors: | Сабодаш, О. А. Пронина, М. И. Прокофьев, С. С. |
| Keywords: | материалы конференций;СВЧ-плазмотрон;кремниевая пластина;плазменная система |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Сабодаш, О. А. Влияние площади поверхности кремниевых пластин на величину СВЧ мощности в разрядной камере СВЧ плазмотрона резонаторного типа / Сабодаш О. А., Пронина М. И., Прокофьев С. С. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 350-351. |
| Abstract: | учения кремниевыми пластинами обладающие высоким тангенсом угла диэлектрических потерь. Полученные результаты можно использовать при проектировании новых или модернизации существующих СВЧ плазменных систем технологического назначения, а также при разработке технологических процессов плазмохимической обработки полупроводниковых материалов. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37972 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Sabodash_Vliyaniye.pdf | 713.91 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.