https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38063| Title: | Исследовательский стенд для фотохимически стимулированного удаления фоторезиста |
| Authors: | Тихон, О. И. |
| Keywords: | материалы конференций;исследовательский стенд;очистка полупроводниковых подложек |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Тихон, О. И. Исследовательский стенд для фотохимически стимулированного удаления фоторезиста / Тихон О. И. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 377-378. |
| Abstract: | Обработка полупроводниковых материалов комбинацией ультрафиолетового излучения и озона считается альтернативой широко применяемым методам сухой очистки и обработке в жидких технологических средах. При рассмотрении возможности применения данного метода в составе технологического маршрута изготовления ИС требуется изучение условий и особенностей его реализации. С целью проведения экспериментов был разработан исследовательский стенд для изучения параметров фотохимически усиленных процессов очистки полупроводниковых подложек и удаления фоторезистивных плёнок в условиях атмосферного давления. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38063 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Tikhon_Issledovatelskiy.pdf | 779.99 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.