Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/387
Title: Базовые технологические процессы изготовления интегральных схем и микроэлектромеханических систем. Лаб. практикум : учебно - метод. пособие
Authors: Котов, Д. А.
Родионов, Ю. А.
Keywords: учебно-методические пособия;высокотемпературная диффузия;ионное легирование;микролитография;интегральные микросхемы;лабораторные работы
Issue Date: 2011
Publisher: БГУИР
Citation: Котов, Д. А. Базовые технологические процессы изготовления интегральных схем и микроэлектромеханических систем. Лаб. практикум : учебно - метод. пособие / Д. А. Котов, Ю. А. Родионов. – Минск : БГУИР, 2011. – 44 с.
Abstract: В пособии рассматриваются четыре технологических процесса: химическое травление; высокотемпературная диффузия; ионное легирование; микролитография. В конце пособия приводится перечень контрольных вопросов и литература.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/387
ISBN: 978-985-488-425-7
Appears in Collections:Кафедра микро- и наноэлектроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kotov_Bazovie.pdf1.17 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.