Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/398
Title: Микроэлектромеханические устройства : лаборатор. практикум по курсу «Микро- и наноэлектромехан. устройства» для студентов специальности 1-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обучения
Authors: Гранько, С. В.
Keywords: микроэлектромеханические устройства;учебно-методические пособия;медицинское оборудование;лабораторные работы
Issue Date: 2009
Publisher: БГУИР
Citation: Микроэлектромеханические устройства : лаборатор. практикум по курсу «Микро- и наноэлектромехан. устройства» для студентов специальности 1-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обучения / сост. С. В. Гранько. – Минск : БГУИР, 2009. – 23 с. : ил.
Abstract: В практикуме обобщены основные сведения о микроэлектромеханических устройствах. Даны методики анализа МЭМС- и МОЭМС-компонентов устройств медицинского назначения, основанных на явлениях дифракции излучения на фрактальных топологиях; акустоэлектронных компонентов; сенсорно-драйверных устройств. Предназначен для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности «Квантовые информационные системы».
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/398
ISBN: 978-985-488-478-3
Appears in Collections:Кафедра микро- и наноэлектроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Granko_2009.pdf2.64 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.