https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40710| Title: | Разработка конструкции кварцевого датчика и системы перемещения |
| Authors: | Аюпов, В. А. Шамшуров, П. Ю. |
| Keywords: | материалы конференций;кварцевый датчик;система перемещения |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Аюпов, В. А. Разработка конструкции кварцевого датчика и системы перемещения / В. А. Аюпов, П. Ю. Шамшуров // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18 – 20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 289. |
| Abstract: | Для регистрации скорости нанесения при ионно-лучевом и ионно-плазменном распылении был разработан кварцевый датчик. Данный датчик предназначен для работы в системах кварцевого контроля толщины и скорости роста пленок в технологическом оборудовании вакуумного ионно-плазменного нанесения слоев и при проведении научных исследований. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40710 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Ayupov_Razrabotka.pdf | 391.64 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.