https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41131| Title: | Экспресс-контроль элементов интегральных схем с использованием растровой электронной микроскопии и режима наведенного тока |
| Authors: | Петлицкий, А. Н. Жигулин, Д. В. Ланин, В. Л. |
| Keywords: | публикации ученых;интегральная схема;растровая электронная микроскопия;режим наведенного тока |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | Издательский Дом Электроника |
| Citation: | Петлицкий, А. Экспресс-контроль элементов интегральных схем с использованием растровой электронной микроскопии и режима наведенного тока / А. Петлицкий, Д. Жигулин, В. Ланин / Производство электроники. – 2020. – № 1. – С. 98–102. |
| Abstract: | Рассмотрена методика выявления отказов элементов интегральных схем растровой электронной микроскопией в режиме наведенного тока EBIC. Данный метод является основой экспресс –контроля работоспособности ИС и отдельных интегральных элементов. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41131 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Petlitskiy_Ekspress_kontrol.pdf | 987.34 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.