Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41393
Title: Анализ качества покрытия технологического участка вакуумной установки
Authors: Железнев, А. И.
Хаджинов, М. К.
Keywords: материалы конференций;вакуумные установки;вакуумное осаждение;технологические участки
Issue Date: 2020
Publisher: БГУИР
Citation: Железнев, А. И. Анализ качества покрытия технологического участка вакуумной установки / Железнев А. И., Хаджинов М. К. // Информационные технологии и системы 2020 (ИТС 2020) = Information Teсhnologies and Systems 2020 (ITS 2020) : материалы международной научной конференции, Минск, 18 ноября 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол. : Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2020. – С. 32–33.
Abstract: Рассматривается структура технологического участка вакуумной установки. Анализируется вопрос качества получаемого покрытия и методах его повышения. Выявлены экономически выгодные методы повышения качества покрытия подходящие для условий реального производства.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41393
Appears in Collections:ИТС 2020

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Zheleznev_Analiz.pdf660.56 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.