Технология изготовления интегральных микросхем. Лабораторный практикум : пособие

Abstract

Пособие содержит описание восьми лабораторных работ и позволяет получить представления о технологии изготовления широкого класса интегральных микросхем. При выполнении этих работ студенты могут изучить технологические процессы и контрольные операции после различных этапов изготовления интегральных микросхем, получить практические навыки измерений параметров тестовых структур и научиться проводить анализ технологического процесса по результатам этих измерений.

Основано на материале по дисциплинам «Технология изготовления интегральных микросхем» и «Технологические процессы микроэлектроники» специальностей «Микро-и наноэлектронные технологии и системы» и «Квантовые информационные системы». Может быть полезно при изучении родственных курсов других специальностей.