https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42310
Title: | Влияние степени легирования алюминием на механические и триботехнические характеристики пленок нитрида титана-алюминия |
Authors: | Голосов, Д. А. Окс, Е. М. Бурдовицин, В. А. Нгуен, Т. Д. Мельников, С. Н. Завадский, С. М. Поболь, И. Л. Кананович, Н. А. Тиан, К. Лам, Н. Н. |
Keywords: | публикации ученых;тонкие плёнки;износостойкие покрытия;нитрид титана - алюминия;реактивное магнетронное распыление;мозаичная мишень;микротвёрдость;износостойкость |
Issue Date: | 2020 |
Publisher: | Институт механики металлополимерных систем им. В.А. Белого НАН Беларуси |
Citation: | Влияние степени легирования алюминием на механические и триботехнические характеристики пленок нитрида титана-алюминия / Д. А. Голосов [и др.] // Трение и износ. – 2020. – Т. 41, № 4. – С. 420–426. – DOI: 10.32864/0202-4977-2020-41-4-420-426. |
Abstract: | Проведены исследования механических и триботехнических характеристик плёнок нитрида титана-алюминия, нанесённых методом реактивного магнетронного распыления из Ti-Al мозаичных мишеней с различной концентрацией алюминия. Получены зависимости элементного состава, микротвёрдости, коэффициента трения от степени легирования плёнок алюминием и концентрации азота в Ar/N2 смеси газов процессе нанесения плёнок. Установлено, что увеличение содержания алюминия в плёнке приводит к увеличению твёрдости плёнок и снижению коэффициента трения. Для концентрации азота в плёнке имеется оптимум, при котором достигается максимальная твёрдость и низкие значения коэффициента трения. Максимальная твёрдость HK 23,5 ГПа и минимальный коэффициент трения 0,082 получены для плёнок состава Ti5. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42310 |
Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Golosov_Vliyaniye.pdf | 496.82 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.