https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42416| Title: | Использование наноструктурированного кремния при изготовлении МЭМС |
| Authors: | Лазарук, С. К. Долбик, А. В. Лабунов, В. А. |
| Keywords: | материалы конференций;защита информации;системы защиты информации;наноструктурированные материалы;микроэлектромеханические системы |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Лазарук, С. К. Использование наноструктурированного кремния при изготовлении МЭМС / Лазарук С. К., Долбик А. В., Лабунов В. А. // Технические средства защиты информации : тезисы докладов IХ Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 28–29 июня 2011 г. / редкол.: Л. М. Лыньков [и др.]. – Минск : БГУИР, 2011. – С. 70–71. |
| Abstract: | Разработан технологический маршрут изготовления саморазрушающейся микроэлектромеханической системы на основе пористого кремния, которая может являться элементом системы защиты информации на цифровых носителях. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42416 |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2011 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lazaruk_Ispolzovaniye.pdf | 148.96 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.