https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43323| Title: | Моделирование процесса термопередачи при прошивке кремниевой подложки лазерным излучением |
| Authors: | Ланин, В. Л. Фам, В. Т. Петухов, И. Б. |
| Keywords: | публикации ученых;термопередача;моделирование;лазерное излучение;кремниевая подложка |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БНТУ |
| Citation: | Ланин, В. Л. Моделирование процесса термопередачи при прошивке кремниевой подложки лазерным излучением / В. Л. Ланин, В. Т. Фам, И. Б. Петухов // Приборостроение – 2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, Минск, 18-20 ноября 2020 г. / Белорусский национальный технический университет. – Минск, 2020. – С. 387–388. |
| Abstract: | В среде COMSOL Multiphysics разработана модель процесса термопередачи при прошивке отверстий в кремниевой подложке толщиной 300 мкм с использованием лазерного излучения в режимах непрерывного и импульсного излучения. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43323 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lanin_Modelirovaniye2.pdf | 313.32 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.