Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44703
Title: Использование пакета ATHENA в рамках изучения дисциплины «Моделирование и оптимизация технологических процессов и элементов микроэлектронных устройств»
Authors: Швец, А. А.
Keywords: материалы конференций;микроэлектроника;технологические маршруты;программные модули;ATHENA
Issue Date: 2021
Publisher: БГУИР
Citation: Швец, А. А. Использование пакета ATHENA в рамках изучения дисциплины «Моделирование и оптимизация технологических процессов и элементов микроэлектронных устройств» / Швец А. А. // Актуальные вопросы профессионального образования = Аctual issues of professional education : тезисы докладов IV Международной научно-практической конференции, Минск, 20–21 мая 2021 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: С. Н. Анкуда [и др.]. – Минск, 2021. – С. 203–205.
Abstract: В статье рассмотрены функциональные возможности пакета ATHENA для проектирования и моделирования как полного технологического маршрута изготовления изделий микроэлектроники, так и отдельных операций.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44703
Appears in Collections:Актуальные вопросы профессионального образования : материалы 4 Международной научно-практической конференции (2021)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Shvets_Ispolzovaniye.pdf356.87 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.