https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45019| Title: | Способ обратной литографии |
| Other Titles: | Пат. 2428 Респ. Беларусь |
| Authors: | Лыньков, Л. М. Жданович, С. В. Петров, Н. П. Прудник, А. М. Богуш, В. А. |
| Keywords: | патенты;обратная литография;литография;микроэлектроника |
| Issue Date: | 1998 |
| Publisher: | Национальный центр интеллектуальной собственности |
| Citation: | Способ обратной литографии : пат. 2428 Респ. Беларусь : МПК H 01L 21/312 / Лыньков Л. М., Жданович С. В., Петров Н. П., Прудник А. М., Богуш В. А. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № 960170 ; заявл. 10.04.1996 ; опубл. 30.09.1998. – 3 с. |
| Abstract: | Способ обратной литографии, включающий нанесение на подложку пленки алюминия, формирование контактной маски путем селективного травления пленки алюминия, нанесение пленки рабочего материала и удаление контактной маски, отличающийся тем, что перед удалением контактной маски осуществляют импульсную термообработку на воздухе полученной структуры до температуры 500-800°С путем воздействия облучения некогерентным светом интенсивностью 250 - 400 град/с с последующим охлаждением до комнатной температуры, а удаление контактной маски производят химическим путем с использованием УЗ-колебаний. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45019 |
| Appears in Collections: | Изобретения |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lynkov_Sposob_patent1.pdf | 166.61 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.